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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	晶舟及扩散设备	发明专利	CN202110601926.6	CN113488382A	2021-10-08
2	扩散设备和扩散系统	发明专利	CN202110601929.X	CN113373522A	2021-09-10
3	晶舟、扩散设备及半导体器件制造方法	发明专利	CN202110601946.3	CN113363191A	2021-09-07
4	晶舟、扩散设备及半导体器件制造方法	发明专利	CN202110600198.7	CN113363190A	2021-09-07
5	一种肖特基二极管及其制作方法和芯片	发明专利	CN202110479822.2	CN113257893A	2021-08-13
6	半导体器件及其制作方法和芯片	发明专利	CN202110479821.8	CN113257734A	2021-08-13
7	一种快恢复芯片的制造方法、制造设备和快恢复芯片	发明专利	CN202110348517.X	CN113223953A	2021-08-06
8	一种快恢复芯片的制造方法、制造设备和快恢复芯片	发明专利	CN202110351049.1	CN113223944A	2021-08-06
9	晶圆半导体产品、其制作方法与光刻机	发明专利	CN202110317709.4	CN113219800A	2021-08-06
10	晶圆半导体产品、掩膜版以及光刻机	发明专利	CN202110317708.X	CN113219799A	2021-08-06

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