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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种减薄机大盘	实用新型	CN202121427711.9	CN215999808U	2022-03-11
2	一种精密调整块及其减薄机	实用新型	CN202121429526.3	CN215748222U	2022-02-08
3	一种轴承真空吸盘夹紧主轴的污油收集装置	实用新型	CN202121429590.1	CN215411324U	2022-01-04
4	一种减薄机的立柱	实用新型	CN202121428503.0	CN215183876U	2021-12-14
5	一种减薄机用基座	实用新型	CN202121427750.9	CN215039112U	2021-12-07
6	一种真空吸盘夹紧主轴排气结构及晶圆减薄机	实用新型	CN202120025678.0	CN214092763U	2021-08-31
7	一种真空吸盘夹紧主轴及晶圆减薄机	实用新型	CN202120025621.0	CN214080871U	2021-08-31
8	一种真空吸盘夹紧主轴注油结构及晶圆减薄机	实用新型	CN202120025067.6	CN214063587U	2021-08-27
9	一种双轴承浮动限位块及半导体晶圆减薄机	实用新型	CN202120015129.5	CN214063571U	2021-08-27
10	一种大盘结构及半导体晶圆减薄机	实用新型	CN202120028155.1	CN213583720U	2021-06-29

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