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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机	实用新型	CN202121310450.2	CN215823527U	2022-02-15
2	节能减碳的新型无尘室热交换空调设备	实用新型	CN202121601400.X	CN214949498U	2021-11-30
3	新型TVS晶粒结构	实用新型	CN202121601406.7	CN214898410U	2021-11-26
4	单片大电流TVS晶圆结构	实用新型	CN202121601404.8	CN214898409U	2021-11-26
5	薄型TVS晶圆	实用新型	CN202121601401.4	CN214898408U	2021-11-26
6	新型晶圆晶舟	实用新型	CN202121600509.1	CN214898360U	2021-11-26
7	新型低耗显影机	实用新型	CN202121601410.3	CN214896210U	2021-11-26
8	新型串口通信协议自动点测机	实用新型	CN202121310451.7	CN214894893U	2021-11-26
9	新型晶圆低耗氮清洗后旋干机	实用新型	CN202121601409.0	CN214892392U	2021-11-26
10	省水型晶圆清洗机	实用新型	CN202121309843.1	CN214865752U	2021-11-26

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