商标信息3
专利信息281
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种光刻机的快门叶片 | 发明专利 | CN201511022925.7 | CN106933041B | 2019-11-26 |
2 | 一种光刻机的挡光板装置 | 发明专利 | CN201910653028.8 | CN110398883A | 2019-11-01 |
3 | 一种吸盘及其吸附方法 | 发明专利 | CN201510731089.3 | CN106653671B | 2019-08-23 |
4 | 一种调焦调平测量系统及其校准方法 | 发明专利 | CN201511025832.X | CN106933072B | 2019-07-23 |
5 | 一种光刻机同步控制系统及方法 | 发明专利 | CN201511026460.2 | CN106933050B | 2019-05-31 |
6 | 一种对准系统及对准方法 | 发明专利 | CN201510859907.8 | CN106814557B | 2019-04-30 |
7 | 调焦调平的离焦倾斜补偿装置与方法 | 发明专利 | CN201511024259.0 | CN106933044B | 2019-03-12 |
8 | 一种投影曝光装置及方法 | 发明专利 | CN201510646618.X | CN106569390B | 2019-01-18 |
9 | 一种调焦调平系统及其调焦调平方法 | 发明专利 | CN201511024299.5 | CN106933070B | 2018-11-09 |
10 | 气压测量装置及方法、调焦调平装置及光刻机设备 | 发明专利 | CN201510856576.2 | CN106814545B | 2018-08-24 |
软件著作权0
作品著作权0
网站备案2
序号 | 网站名 | 网址 | 备案号 | 主办单位性质 | 审核日期 |
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1 | 上海微高精密机械工程有限公司 | www.nanpre.com | 沪ICP备16033796号 | 企业 | 2019-05-31 |
2 | 上海微高精密机械工程有限公司 | www.nanpre.com | 沪ICP备16033796号 | 企业 | 2019-05-31 |
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