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  • 微高精密

    上海微高精密机械工程有限公司

    存续
    • 地址:中国(上海)自由贸易试验区张东路1525号3幢G104室
    • 简介:-
    • 商标信息 3
    • 专利信息 281
    • 软件著作权 0
    • 作品著作权 0
    • 网站备案 2

    商标信息3

    序号 商标名称 国际分类 注册号 状态 申请日期 操作
    1 微高 07类-机械设备 7257913 商标已注册 2009-03-16 查看
    2 NANPRE 07类-机械设备 7257673 商标已注册 2009-03-16 查看
    3 W;NANPRE 07类-机械设备 6120732 商标已注册 2007-06-21 查看

    专利信息281

    序号 专利名称 专利类型 申请号 公开(公告)号 公布日期
    1 一种光刻机的快门叶片 发明专利 CN201511022925.7 CN106933041B 2019-11-26
    2 一种光刻机的挡光板装置 发明专利 CN201910653028.8 CN110398883A 2019-11-01
    3 一种吸盘及其吸附方法 发明专利 CN201510731089.3 CN106653671B 2019-08-23
    4 一种调焦调平测量系统及其校准方法 发明专利 CN201511025832.X CN106933072B 2019-07-23
    5 一种光刻机同步控制系统及方法 发明专利 CN201511026460.2 CN106933050B 2019-05-31
    6 一种对准系统及对准方法 发明专利 CN201510859907.8 CN106814557B 2019-04-30
    7 调焦调平的离焦倾斜补偿装置与方法 发明专利 CN201511024259.0 CN106933044B 2019-03-12
    8 一种投影曝光装置及方法 发明专利 CN201510646618.X CN106569390B 2019-01-18
    9 一种调焦调平系统及其调焦调平方法 发明专利 CN201511024299.5 CN106933070B 2018-11-09
    10 气压测量装置及方法、调焦调平装置及光刻机设备 发明专利 CN201510856576.2 CN106814545B 2018-08-24

    软件著作权0

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    作品著作权0

    暂无信息 暂无作品著作权

    网站备案2

    序号 网站名 网址 备案号 主办单位性质 审核日期
    1 上海微高精密机械工程有限公司 www.nanpre.com 沪ICP备16033796号 企业 2019-05-31
    2 上海微高精密机械工程有限公司 www.nanpre.com 沪ICP备16033796号 企业 2019-05-31
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