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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	对准标记系统	发明专利	CN201911205271.X	CN111354714B	2022-02-15
2	转移装置及其清洁方法	发明专利	CN201911068959.8	CN111332734B	2022-01-25
3	半导体元器件及其制造方法、电子装置	发明专利	CN202010166362.3	CN113380713A	2021-09-10
4	电容器的制备方法及电容器	发明专利	CN202010158933.9	CN113363385A	2021-09-07
5	半导体器件及其制造方法	发明专利	CN202010072770.2	CN113224030A	2021-08-06
6	半导体元器件及其制备方法及电子装置	发明专利	CN202010072139.2	CN113223997A	2021-08-06
7	半导体处理工艺及半导体元器件	发明专利	CN202010072119.5	CN113223951A	2021-08-06
8	具有多晶硅层的晶圆的处理方法及其系统	发明专利	CN202010016903.4	CN113161223A	2021-07-23
9	掩模容器	发明专利	CN202010054914.1	CN113140492A	2021-07-20
10	光刻胶涂覆装置及光刻胶涂覆方法	发明专利	CN202010055766.5	CN113138535A	2021-07-20

共 16 页

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