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商标信息 4
专利信息 51
软件著作权 0
作品著作权 0
网站备案 0

商标信息4

序号	商标名称	国际分类	注册号	状态	申请日期	操作
1	图形	09类-科学仪器	13674668	商标已注册	2013-12-05	查看
2	瀚天天成	09类-科学仪器	13674601	商标已注册	2013-12-05	查看
3	EPIWORLD	09类-科学仪器	12043688	商标已注册	2013-01-14	查看
4	瀚天	09类-科学仪器	12043675	商标已注册	2013-01-14	查看

专利信息51

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种碳化硅外延生长的控制方法及碳化硅外延片	发明专利	CN202011344467.X	CN112466745B	2021-10-08
2	一种分离式外延生长承载盘	实用新型	CN202023025764.6	CN213936156U	2021-08-10
3	一种外延薄膜生长承载盘	实用新型	CN202022770695.5	CN213925129U	2021-08-10
4	一种提高碳化硅外延薄膜生长质量的方法	发明专利	CN202011420249.X	CN112490117B	2021-08-10
5	一种提高碳化硅外延薄膜生长质量的方法	发明专利	CN202011420249.X	CN112490117A	2021-08-10
6	一种晶片清洗装置	发明专利	CN202110430344.6	CN113140488A	2021-07-20
7	一种半导体掺杂层厚度无损检测方法	发明专利	CN202110423512.9	CN113140478A	2021-07-20
8	一种碳化硅外延反应室源气进气过渡部件	实用新型	CN202022046710.1	CN213624472U	2021-07-06
9	一种碳化硅外延反应室侧壁部件	实用新型	CN202022031451.5	CN213624470U	2021-07-06
10	一种源气进气过渡部件的拆取装置	实用新型	CN202022095273.2	CN213624370U	2021-07-06

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