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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种椭偏仪测量装置	实用新型	CN202120013648.8	CN216117305U	2022-03-22
2	一种晶圆对位传递承载装置	实用新型	CN202120081602.X	CN215896359U	2022-02-22
3	一种芯片收纳固定装置	实用新型	CN202120073453.2	CN215896333U	2022-02-22
4	一种晶圆减薄后下片的防护装置	实用新型	CN202120196420.7	CN215896314U	2022-02-22
5	一种激光器及其镀膜方法	发明专利	CN202110976322.X	CN113981380A	2022-01-28
6	一种高速DFB芯片中含铝材料的高温ICP刻蚀方法	发明专利	CN201910973107.7	CN110808533B	2022-01-21
7	非氧化工艺微米柱阵列大功率VCSEL结构及其制备方法	发明专利	CN202110871419.4	CN113839304A	2021-12-24
8	一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置和方法	发明专利	CN201910970826.3	CN110790007B	2021-11-30
9	一种基于选区外延技术的双波长VCSEL结构及其制备方法	发明专利	CN202110826665.8	CN113708214A	2021-11-26
10	一种半导体激光器芯片腔面的镀膜方法	发明专利	CN202110845340.4	CN113699488A	2021-11-26

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