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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种硅片减薄装置和用于单晶硅片的减薄加工工艺	发明专利	CN202111401298.3	CN114161245A	2022-03-11
2	一种化学机械抛光垫的抛光层及其制备方法	发明专利	CN202011232817.3	CN112318363B	2022-03-11
3	适用于硅片粗抛光的化学机械抛光组合物及其应用	发明专利	CN202110883514.6	CN113549399B	2022-02-15
4	一种蓝宝石抛光组合物及其应用	发明专利	CN202010992178.4	CN112175524B	2022-02-15
5	一种高效、高精度硅片抛光组合物及其制备方法和应用	发明专利	CN202111420369.4	CN114032033A	2022-02-11
6	一种终点检测精度高的化学机械抛光垫、制备方法及其应用	发明专利	CN202111437207.1	CN114029856A	2022-02-11
7	提高抛光平坦度的化学机械抛光垫及其应用	发明专利	CN202111312061.8	CN113977453A	2022-01-28
8	一种化学机械抛光清洗液及使用方法	发明专利	CN202010634290.0	CN113881510A	2022-01-04
9	一种再生晶圆化学机械抛光液及其制备方法	发明专利	CN202111312049.7	CN113861848A	2021-12-31
10	一种高洁净度抛光片的制备工艺	发明专利	CN202111075148.8	CN113808918A	2021-12-17

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