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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	用于异质结太阳能电池的镀膜方法以及镀膜设备	发明专利	CN202110645526.5	CN113410343A	2021-09-17
2	用于异质结太阳能电池的镀膜方法及镀膜设备	发明专利	CN202110645343.3	CN113410342A	2021-09-17
3	异质结太阳能电池及其制造方法	发明专利	CN202110610151.9	CN113363356A	2021-09-07
4	一种PECVD沉积腔支撑装置	实用新型	CN201921969081.0	CN212247205U	2020-12-29
5	一种PECVD系统的限位装置	实用新型	CN201921981779.4	CN211771538U	2020-10-27
6	一种平板式PECVD进气排布结构	实用新型	CN201921972897.9	CN211771537U	2020-10-27
7	一种PECVD尾气处理装置	实用新型	CN201921960206.3	CN211753227U	2020-10-27
8	一种PECVD设备的炉门结构	实用新型	CN201921974548.0	CN211394626U	2020-09-01
9	一种PECVD设备炉体支撑调节机构	实用新型	CN201921973082.2	CN211394625U	2020-09-01
10	一种平板式PECVD机台送气管路	实用新型	CN201921970922.X	CN211394624U	2020-09-01

共 6 页

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