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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	研磨设备	实用新型	CN202120138101.0	CN214445531U	2021-10-22
2	具有颗粒监测功能的去离子水清洗设备	实用新型	CN202023058996.1	CN214441364U	2021-10-22
3	用于清洗切割后的晶棒的超声清洗设备	实用新型	CN202023069333.X	CN214441346U	2021-10-22
4	具有改善金属污染功能的湿法刻蚀设备	实用新型	CN202120411904.9	CN214226880U	2021-09-17
5	湿法清洗设备	实用新型	CN202120138079.X	CN214099596U	2021-08-31
6	晶圆干燥设备	实用新型	CN202120140270.8	CN213988842U	2021-08-17
7	批次型湿法刻蚀设备	实用新型	CN202120138106.3	CN213988841U	2021-08-17
8	具有浓度自调节功能的湿法清洗设备	实用新型	CN202023069353.7	CN213988838U	2021-08-17
9	晶圆双面清洗设备	实用新型	CN202023058925.1	CN213988837U	2021-08-17
10	边缘刻蚀设备	实用新型	CN202120140290.5	CN213958925U	2021-08-13

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