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专利信息24

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种碳化硅晶体生长余料处理再利用方法	发明专利	CN202011507849.X	CN112746325A	2021-05-04
2	一种减少碳化硅晶体包裹物的方法	发明专利	CN202011511628.X	CN112746316A	2021-05-04
3	一种提高碳化硅籽晶粘接质量的方法	发明专利	CN202011507909.8	CN112725892A	2021-04-30
4	一种改进的碳化硅原料合成方法	发明专利	CN202011511913.1	CN112694090A	2021-04-23
5	上方取坩埚的长晶炉	实用新型	CN201922265635.5	CN213013166U	2021-04-20
6	一种碳化硅晶体电阻法退火用温控系统及方法	发明专利	CN201811419766.8	CN109554761B	2021-04-20
7	用于生长大直径碳化硅晶体的装置	实用新型	CN201921332016.7	CN211420368U	2020-09-04
8	石墨坩埚和碳化硅合成方法	发明专利	CN201911215682.7	CN111482148A	2020-08-04
9	晶圆容纳装置及晶圆腐蚀方法	发明专利	CN201911221707.4	CN111370355A	2020-07-03
10	温度控制方法、装置、系统及机器可读存储介质	发明专利	CN201911042950.X	CN110983442A	2020-04-10

软件著作权6

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	电阻式石墨加热器控制系统	-	V1.0	2020SR1812268	-	-	2020-12-14
2	电阻式碳化硅单晶炉操作控制软件	-	V1.0	2020SR1812267	-	-	2020-12-14
3	电阻式碳化硅单晶炉电控系统	-	V1.0	2020SR1812266	-	-	2020-12-14
4	基于电阻式加热器的单晶炉温度闭环反馈系统	-	V1.0	2020SR1812265	-	-	2020-12-14
5	基于电阻式加热器的单晶炉温度闭环控制软件	-	V1.0	2020SR1812264	-	-	2020-12-14
6	面向碳化硅单晶生长的石墨加热平台	-	V1.0	2020SR1812263	-	-	2020-12-14

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