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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于半导体单晶硅棒切割的粘晶定位装置	实用新型	CN202123268983.1	CN216992598U	2022-07-19
2	一种用于直拉硅单晶多次加掺掺杂剂的装置	实用新型	CN202123382045.4	CN216919476U	2022-07-08
3	8英寸硅抛光片边缘T型轮廓加工用倒角磨削工装	实用新型	CN202123298154.8	CN216731039U	2022-06-14
4	一种APCVD背封炉氮气罩的固定装置	实用新型	CN202123232751.0	CN216715536U	2022-06-10
5	一种N型掺杂硅单晶的制备方法以及所制备的掺杂硅单晶	发明专利	CN202111487642.5	CN114351243A	2022-04-15
6	一种用于键合工艺的硅衬底抛光片的制备方法	发明专利	CN202111616066.X	CN114346924A	2022-04-15
7	一种精准控制单晶生长界面的方法	发明专利	CN202111680189.X	CN114318513A	2022-04-12
8	一种通过监控直拉单晶硅转肩直径自动调节拉速的方法	发明专利	CN202111626097.3	CN114318512A	2022-04-12
9	一种重掺磷超低阻硅单晶的制备方法	发明专利	CN202111594443.4	CN114318508A	2022-04-12
10	一种重掺砷大直径低阻硅单晶的拉制方法	发明专利	CN202111593665.4	CN114318507A	2022-04-12

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