商标信息0
专利信息21
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 电阻温度系数趋于零的钴锗合金薄膜的制备方法 | 发明专利 | CN202110745661.7 | CN113481484B | 2022-03-08 |
2 | 一种往复旋转升降的化学气相沉积设备 | 发明专利 | CN202111330342.6 | CN113774360B | 2022-02-11 |
3 | 可自动开合的半导体设备 | 发明专利 | CN202111075974.2 | CN113802109A | 2021-12-17 |
4 | 一种往复旋转升降的化学气相沉积设备 | 发明专利 | CN202111330342.6 | CN113774360A | 2021-12-10 |
5 | TEOS膜的制作方法 | 发明专利 | CN202111010449.2 | CN113667964A | 2021-11-19 |
6 | 改善深孔填充均匀性的靶材组件、溅射设备及设计方法 | 发明专利 | CN202110932079.1 | CN113637947A | 2021-11-12 |
7 | 一种真空镀膜中真空泵系统的工作方法及真空泵系统 | 发明专利 | CN202111184329.4 | CN113621936A | 2021-11-09 |
8 | 一种PVD镀膜设备 | 发明专利 | CN202110985070.7 | CN113430492B | 2021-11-09 |
9 | 可调节薄膜应力的溅射设备和方法 | 发明专利 | CN202110978336.5 | CN113416938B | 2021-11-09 |
10 | 改善填充膜均匀性的基座装置、溅射设备及溅射工艺 | 发明专利 | CN202110935312.1 | CN113388820B | 2021-11-09 |
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