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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	进气装置	实用新型	CN201320504645.X	CN203653689U	2014-06-18
2	进气管道以及进气装置	实用新型	CN201320504654.9	CN203513793U	2014-04-02
3	喷淋头及反应腔室	发明专利	CN201310517831.1	CN103540910A	2014-01-29
4	半导体处理系统、衬底托盘以及机械手	发明专利	CN201310411110.2	CN103465266A	2013-12-25
5	一种用于光学特性参数测试的LED外延结构	实用新型	CN201320387474.7	CN203351640U	2013-12-18
6	半导体制造系统	实用新型	CN201320361049.0	CN203351563U	2013-12-18
7	沉积设备以及旋转装置	实用新型	CN201320360851.8	CN203346474U	2013-12-18
8	一种用于化学气相沉积工艺的衬底及石墨盘	实用新型	CN201320326603.1	CN203346473U	2013-12-18
9	用于外延沉积III-V材料层的反应腔	实用新型	CN201320347098.9	CN203346472U	2013-12-18
10	用于外延沉积III-V材料层的反应腔	实用新型	CN201320346387.7	CN203346471U	2013-12-18

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