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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶圆切割分离装置	实用新型	CN201921763766.X	CN211518101U	2020-09-18
2	一种晶圆切割自动装夹装置	实用新型	CN201921762350.6	CN211518098U	2020-09-18
3	一种晶圆切割切口检测装置	实用新型	CN201921763927.5	CN211179565U	2020-08-04
4	一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机	实用新型	CN201921762461.7	CN211163462U	2020-08-04
5	一种具有清洗功能的晶圆研磨设备	实用新型	CN201921762462.1	CN211163353U	2020-08-04
6	一种激光晶圆切割装置	实用新型	CN201921763928.X	CN211162433U	2020-08-04
7	一种防尘抗压反光晶格片	实用新型	CN201821636255.7	CN209086463U	2019-07-09
8	一种半导体封装装置	实用新型	CN201821636406.9	CN208873704U	2019-05-17
9	一种分架式晶圆清洗装置	实用新型	CN201821636253.8	CN208873703U	2019-05-17
10	一种半导体激光器烧结夹持机构	实用新型	CN201821635896.0	CN208707071U	2019-04-05

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