商标信息4
专利信息98
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种用于改善晶圆干燥模组洁净度的机构 | 实用新型 | CN202023272270.8 | CN214250516U | 2021-09-21 |
2 | 一种用于晶圆的传递机构 | 实用新型 | CN202023280039.3 | CN214226890U | 2021-09-17 |
3 | 一种应用于湿法设备的晶圆导片机构 | 实用新型 | CN202023280003.5 | CN214226889U | 2021-09-17 |
4 | 一种可适应于晶圆传递的广用型晶圆传递机构 | 实用新型 | CN202023279801.6 | CN214226888U | 2021-09-17 |
5 | 一种弹压式连接结构 | 实用新型 | CN202120175372.3 | CN214204758U | 2021-09-14 |
6 | 一种弹压嵌合式FFU系统安装结构 | 实用新型 | CN202120176839.6 | CN214177765U | 2021-09-10 |
7 | 一种晶圆清洗设备晶圆片高速装载系统 | 实用新型 | CN202023321081.5 | CN214175990U | 2021-09-10 |
8 | 一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构 | 实用新型 | CN202120175141.2 | CN214068702U | 2021-08-27 |
9 | 一种晶圆片高速装载输送方法及卸载输送方法 | 发明专利 | CN202011636187.6 | CN113270349A | 2021-08-17 |
10 | 一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构 | 实用新型 | CN202120176836.2 | CN213936137U | 2021-08-10 |
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