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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种III族氮化物和硅异质集成衬底及其制造方法	发明专利	CN201610283863.3	CN107342215B	2021-09-28
2	一种III族氮化物和硅异质集成衬底及其制作方法	发明专利	CN201610283432.7	CN107331663B	2021-09-28
3	一种III族氮化物薄膜的剥离转移方法	发明专利	CN201610292147.1	CN107346725B	2021-03-12
4	一种CMOS工艺兼容的环境光传感器及其制备方法	发明专利	CN201610274649.1	CN107331673B	2020-03-24
5	一种人民币防伪检测传感器及其制备方法	发明专利	CN201610281971.7	CN107342337B	2020-01-24
6	一种集成光耦合器件及其制造方法	发明专利	CN201610274007.1	CN107331726B	2019-08-20
7	一种单片集成的紫外焦平面器件及其制备方法	发明专利	CN201610292166.4	CN107346774A	2017-11-14
8	一种大尺寸硅衬底III族氮化物外延生长方法	发明专利	CN201610293366.1	CN107346728A	2017-11-14
9	一种III族氮化物薄膜的剥离转移方法	发明专利	CN201610292147.1	CN107346725A	2017-11-14
10	一种人民币防伪检测传感器及其制备方法	发明专利	CN201610281971.7	CN107342337A	2017-11-10

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