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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种去除掺Sb品腐蚀药液残留的方法	发明专利	CN202110947461.X	CN113787047A	2021-12-14
2	一种用于半导体晶圆的自动定量加液装置	实用新型	CN202121322433.0	CN215118845U	2021-12-10
3	一种P重掺型硅片喷砂前预处理方法	发明专利	CN201911081149.6	CN110957207B	2021-12-10
4	一种P重掺型硅片喷砂前预处理方法	发明专利	CN201911081149.6	CN110957207A	2021-12-10
5	一种检测抛光硅片表面浅在缺陷的方法	发明专利	CN201910922971.4	CN110676155B	2021-12-10
6	一种检测抛光硅片表面浅在缺陷的方法	发明专利	CN201910922971.4	CN110676155A	2021-12-10
7	一种用于硅片清洗抛光的混酸清洗液及抛光硅片清洗方法	发明专利	CN202111031405.8	CN113736580A	2021-12-03
8	一种提高平边产品晶棒线切割入刀稳定性的方法	发明专利	CN202010564568.1	CN111805779B	2021-12-03
9	一种提高硅片最终清洗金属程度的方法及装置	发明专利	CN201810981196.5	CN109326505B	2021-12-03
10	一种单片式硅片使用有机酸的清洗方法	发明专利	CN202110849318.7	CN113658851A	2021-11-16

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