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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	栅极电介质层制备方法	发明专利	CN202110438906.1	CN113299548A	2021-08-24
2	数据可视化制造生产监控报表系统	发明专利	CN202110599253.5	CN113283223A	2021-08-20
3	一种用于微松倒片机的超温报警装置	发明专利	CN202110508773.0	CN113252193A	2021-08-13
4	化学机械研磨的控制方法、设备和存储介质	发明专利	CN202110526806.4	CN113246012A	2021-08-13
5	机械手臂	实用新型	CN202022913314.4	CN213936147U	2021-08-10
6	加液装置	实用新型	CN202022799211.X	CN213933770U	2021-08-10
7	超声波清洗漕结构	实用新型	CN202021823849.6	CN213915194U	2021-08-10
8	避免晶圆边缘非完整曝光单元表面薄膜剥离的方法	发明专利	CN201910862489.6	CN110634729B	2021-08-10
9	光学邻近效应修正方法及其修正系统	发明专利	CN201910788194.9	CN110456617B	2021-08-10
10	半导体器件的制备方法	发明专利	CN201910643646.4	CN110289243B	2021-08-10

共 112 页

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