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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种提升GaN基绿光LED发光效率的外延层	实用新型	CN202021779195.1	CN214043696U	2021-08-24
2	一种高内量子效率的绿光LED磊晶结构	实用新型	CN202021779199.X	CN213692084U	2021-07-13
3	一种刻蚀机线圈调整结构	实用新型	CN202022293567.6	CN213691956U	2021-07-13
4	一种LED图形化衬底用全自动目检机载台	实用新型	CN202023202339.X	CN213519911U	2021-06-22
5	一种高亮度深紫外LED用图形化蓝宝石衬底及其制备方法	发明专利	CN202010472434.7	CN111613704B	2021-05-18
6	一种图形化复合衬底的检测及其修复方法	发明专利	CN202011632689.1	CN112802769A	2021-05-14
7	一种纳米压印翻模机工装治具	实用新型	CN202022488650.9	CN213149471U	2021-05-07
8	一种刻蚀机装片治具	实用新型	CN202021873313.5	CN212934587U	2021-04-09
9	一种提高UVLED出光效率的外延片	实用新型	CN202021786531.5	CN212517228U	2021-02-09
10	一种用于干法刻蚀图形化蓝宝石衬底的托盘结构	实用新型	CN202021628683.2	CN212517142U	2021-02-09

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