商标信息5
专利信息422
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种晶棒切割装置及晶棒切割方法 | 发明专利 | CN202010869343.7 | CN111976043B | 2022-05-31 |
2 | 一种气相沉积反应腔体的承载装置及清洗系统 | 发明专利 | CN201911347019.2 | CN111112266B | 2022-05-27 |
3 | 防止工件掉落的保护装置、工件切割系统及切割方法 | 发明专利 | CN201911121040.0 | CN110733138B | 2022-05-27 |
4 | 一种用于化学钝化的系统 | 发明专利 | CN201911357714.7 | CN111092035B | 2022-05-24 |
5 | 一种清洗装置 | 发明专利 | CN201911301459.4 | CN111014169B | 2022-05-20 |
6 | 一种双面研磨装置 | 实用新型 | CN202123366531.7 | CN216542671U | 2022-05-17 |
7 | 一种硅片边缘抛光装置 | 实用新型 | CN202123355342.X | CN216542412U | 2022-05-17 |
8 | 借助少子寿命表征硅片吸除金属杂质效率的装置和方法 | 发明专利 | CN202111633459.1 | CN114509450A | 2022-05-17 |
9 | 一种用于清洗载盘的清洗槽 | 实用新型 | CN202123385940.1 | CN216501185U | 2022-05-13 |
10 | 一种外延设备冷却系统和方法 | 发明专利 | CN202210108042.1 | CN114481314A | 2022-05-13 |
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