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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备	实用新型	CN202122489264.6	CN215988678U	2022-03-08
2	半导体清洗单元和半导体清洗设备	实用新型	CN202122489262.7	CN215988677U	2022-03-08
3	清洗槽和清洗装置	实用新型	CN202122377057.1	CN215955237U	2022-03-04
4	半导体清洗设备	实用新型	CN202122108950.4	CN215815803U	2022-02-11
5	自动气液分离供酸系统	实用新型	CN202122096489.5	CN215611113U	2022-01-25
6	载体摆动机构和处理设备	实用新型	CN202120762605.X	CN214753665U	2021-11-16
7	晶圆烘干槽、晶圆烘干装置	实用新型	CN202120768649.3	CN214665674U	2021-11-09
8	烘干设备	实用新型	CN202120761513.X	CN214665673U	2021-11-09
9	晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法	发明专利	CN202110316188.0	CN113161254A	2021-07-23
10	载体摆动机构和处理设备	发明专利	CN202110402756.9	CN113097110A	2021-07-09

软件著作权6

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	创微刻蚀清洗设备软件	-	V1.0	2022SR0143558	-	-	2022-01-21
2	创微去胶清洗设备软件	-	V1.0	2022SR0143557	-	-	2022-01-21
3	创微有机清洗设备软件	-	V1.0	2022SR0143556	-	-	2022-01-21
4	创微半导体设备SECS/GEM通讯协议软件	-	V1.0	2022SR0103029	-	-	2022-01-17
5	创微半导体设备排程软件	-	V1.0	2022SR0103028	-	-	2022-01-17
6	创微单晶圆刻蚀清洗设备软件	-	V1.0	2022SR0103027	-	-	2022-01-17

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