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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种三轴陀螺仪	实用新型	CN202121119789.4	CN216049919U	2022-03-15
2	多轴集成的微机电系统惯性器件测试装置、系统及方法	发明专利	CN202111546828.3	CN114152271A	2022-03-08
3	一种微机电系统结构及其制作方法	发明专利	CN202111512073.5	CN114148984A	2022-03-08
4	MEMS谐振器的检测电路	实用新型	CN202121679883.5	CN215728495U	2022-02-01
5	一种数字通讯总线电平检测电路	实用新型	CN202120311012.1	CN215728389U	2022-02-01
6	一种双轴微机械系统换能器结构	实用新型	CN202121926132.9	CN215711763U	2022-02-01
7	红外热电堆传感器的量产测试装置	发明专利	CN202111175721.2	CN113834573A	2021-12-24
8	晶圆级电容式微机电系统器件的测试装置	发明专利	CN202111177146.X	CN113804976A	2021-12-17
9	MEMS陀螺仪	发明专利	CN202111088562.2	CN113804171A	2021-12-17
10	微机电系统惯性器件的惯性测试装置	发明专利	CN202111177140.2	CN113800467A	2021-12-17

共 6 页

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