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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种半导体器件的隔离结构及其制造方法	发明专利	CN202110809017.1	CN113394270A	2021-09-14
2	微机电传感器	实用新型	CN202022170718.9	CN214122270U	2021-09-03
3	微机电传感器	实用新型	CN202022170714.0	CN214122269U	2021-09-03
4	半导体器件的隔离结构及其制作方法	发明专利	CN202110516136.8	CN113257735A	2021-08-13
5	半导体器件及其制造方法	发明专利	CN202110374042.1	CN113206143A	2021-08-03
6	一种微机电传感器的背腔的制造方法	发明专利	CN202110367160.X	CN113200511A	2021-08-03
7	功率半导体器件及其制造方法	发明专利	CN202110181777.2	CN113054011A	2021-06-29
8	MEMS器件及其制造方法	发明专利	CN202110074154.5	CN112897454A	2021-06-04
9	逆导型绝缘栅双极型晶体管及其制造方法	发明专利	CN202110029852.3	CN112768447A	2021-05-07
10	MEMS麦克风的制备方法及MEMS器件的牺牲层的释放方法	发明专利	CN202011528010.4	CN112601168A	2021-04-02

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