商标信息2
专利信息11
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种MEMS压电芯片及MEMS器件 | 发明专利 | CN202110737587.4 | CN113460949A | 2021-10-01 |
2 | 一种基于MEMS质量流量传感器的氢气检测装置 | 实用新型 | CN202120518959.X | CN214251127U | 2021-09-21 |
3 | 一种基于压电控制阀的MEMS质量流量控制器及控制方法 | 发明专利 | CN202110356196.8 | CN113190050A | 2021-07-30 |
4 | 一种MEMS质量流量控制器及控制方法 | 发明专利 | CN202110356195.3 | CN113157008A | 2021-07-23 |
5 | 一种基于热效应的微型气体传感器 | 发明专利 | CN202110316886.0 | CN113049634A | 2021-06-29 |
6 | 一种高性能MEMS流量传感器及其制备方法 | 发明专利 | CN202110275554.2 | CN113049053A | 2021-06-29 |
7 | 一种真空隔热的MEMS流量传感器及其制作方法 | 发明专利 | CN202110268751.1 | CN113029265A | 2021-06-25 |
8 | 一种高灵敏度的MEMS流量传感器及其制作方法 | 发明专利 | CN202110266953.2 | CN113029264A | 2021-06-25 |
9 | 一种多孔硅绝热支撑的高温热流传感器及其制备方法 | 发明专利 | CN202110119811.3 | CN112938892A | 2021-06-11 |
10 | 一种高灵敏度MEMS流量传感器芯片 | 发明专利 | CN202010979042.X | CN112146717A | 2020-12-29 |
软件著作权0
作品著作权0
网站备案2
序号 | 网站名 | 网址 | 备案号 | 主办单位性质 | 审核日期 |
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1 | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 | www.xinnovis.cn | 鲁ICP备2021004998号 | 企业 | 2021-02-07 |
2 | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 | www.xinnovis.cn | 鲁ICP备2021004998号 | 企业 | 2021-02-07 |
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