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  • 芯米

    芯米(厦门)半导体设备有限公司

    存续
    • 地址:厦门火炬高新区(翔安)产业区春风路6号第三层301
    • 简介:-
    • 商标信息 2
    • 专利信息 77
    • 软件著作权 7
    • 作品著作权 0
    • 网站备案 1

    商标信息2

    序号 商标名称 国际分类 注册号 状态 申请日期 操作
    1 XIMI SEMI 09类-科学仪器 40226498 商标已注册 2019-08-08 查看
    2 芯米 XIMI 07类-机械设备 40209952 商标已注册 2019-08-08 查看

    专利信息77

    序号 专利名称 专利类型 申请号 公开(公告)号 公布日期
    1 双缓冲型光阻液喷涂系统 发明专利 CN202010263934.X CN111451061B 2021-12-31
    2 多尺寸基板晶圆装载机构 实用新型 CN202022586656.X CN214898379U 2021-11-26
    3 一种液体涂覆装置 实用新型 CN202022577308.6 CN214864734U 2021-11-26
    4 一种化学液处理回收装置 实用新型 CN202022586253.5 CN214597534U 2021-11-05
    5 显影液分类回收处理设备 实用新型 CN202022588351.2 CN214597458U 2021-11-05
    6 光刻胶收集装置自动清洗系统 实用新型 CN202022577530.6 CN214516414U 2021-10-29
    7 一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘 发明专利 CN202110667887.X CN113565885A 2021-10-29
    8 半导体基板烘烤装置 实用新型 CN202022586357.6 CN214099589U 2021-08-31
    9 晶圆表面干燥吹扫设备 实用新型 CN202022586331.1 CN214099588U 2021-08-31
    10 显影液恒温管路系统 实用新型 CN202022585265.6 CN214098111U 2021-08-31

    软件著作权7

    序号 软件名称 软件简称 版本号 登记号 分类号 首次发表日期 登记批准日期
    1 Hot/Coling Plate热/冷盘运行监测系统 - V1.0 2020SR0615415 - - 2020-06-12
    2 Track system Track操作系统 - V1.0 2020SR0615393 - - 2020-06-12
    3 Spinmotor Unit旋转马达单元程序系统 - V1.0 2020SR0615355 - - 2020-06-12
    4 Robot Arm机械手臂控制系统 - V1.0 2020SR0615347 - - 2020-06-12
    5 Developer Unit显影工序控制系统 - V1.0 2020SR0611826 - - 2020-06-11
    6 Coater Unit光刻胶涂布工序控制系统 - V1.0 2020SR0611820 - - 2020-06-11
    7 Dispense Module喷涂模组工艺控制系统 - V1.0 2020SR0611615 - - 2020-06-11

    作品著作权0

    暂无信息 暂无作品著作权

    网站备案1

    序号 网站名 网址 备案号 主办单位性质 审核日期
    1 芯米(厦门)半导体设备有限公司 www.ximisemi.com 闽ICP备19004956号 企业 2019-03-18
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