商标信息2
专利信息77
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 双缓冲型光阻液喷涂系统 | 发明专利 | CN202010263934.X | CN111451061B | 2021-12-31 |
2 | 多尺寸基板晶圆装载机构 | 实用新型 | CN202022586656.X | CN214898379U | 2021-11-26 |
3 | 一种液体涂覆装置 | 实用新型 | CN202022577308.6 | CN214864734U | 2021-11-26 |
4 | 一种化学液处理回收装置 | 实用新型 | CN202022586253.5 | CN214597534U | 2021-11-05 |
5 | 显影液分类回收处理设备 | 实用新型 | CN202022588351.2 | CN214597458U | 2021-11-05 |
6 | 光刻胶收集装置自动清洗系统 | 实用新型 | CN202022577530.6 | CN214516414U | 2021-10-29 |
7 | 一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘 | 发明专利 | CN202110667887.X | CN113565885A | 2021-10-29 |
8 | 半导体基板烘烤装置 | 实用新型 | CN202022586357.6 | CN214099589U | 2021-08-31 |
9 | 晶圆表面干燥吹扫设备 | 实用新型 | CN202022586331.1 | CN214099588U | 2021-08-31 |
10 | 显影液恒温管路系统 | 实用新型 | CN202022585265.6 | CN214098111U | 2021-08-31 |
软件著作权7
序号 | 软件名称 | 软件简称 | 版本号 | 登记号 | 分类号 | 首次发表日期 | 登记批准日期 |
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1 | Hot/Coling Plate热/冷盘运行监测系统 | - | V1.0 | 2020SR0615415 | - | - | 2020-06-12 |
2 | Track system Track操作系统 | - | V1.0 | 2020SR0615393 | - | - | 2020-06-12 |
3 | Spinmotor Unit旋转马达单元程序系统 | - | V1.0 | 2020SR0615355 | - | - | 2020-06-12 |
4 | Robot Arm机械手臂控制系统 | - | V1.0 | 2020SR0615347 | - | - | 2020-06-12 |
5 | Developer Unit显影工序控制系统 | - | V1.0 | 2020SR0611826 | - | - | 2020-06-11 |
6 | Coater Unit光刻胶涂布工序控制系统 | - | V1.0 | 2020SR0611820 | - | - | 2020-06-11 |
7 | Dispense Module喷涂模组工艺控制系统 | - | V1.0 | 2020SR0611615 | - | - | 2020-06-11 |
作品著作权0
网站备案1
序号 | 网站名 | 网址 | 备案号 | 主办单位性质 | 审核日期 |
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1 | 芯米(厦门)半导体设备有限公司 | www.ximisemi.com | 闽ICP备19004956号 | 企业 | 2019-03-18 |
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