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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺	发明专利	CN202110557217.2	CN115369482A	2022-11-22
2	一种直拉单晶初始复投工艺	发明专利	CN202110556750.7	CN115369475A	2022-11-22
3	一种晶圆棒开方回收装置及回收方法	发明专利	CN202110557200.7	CN115366274A	2022-11-22
4	方棒加工方法	发明专利	CN202110557221.9	CN115366271A	2022-11-22
5	一种控制单晶电阻率轴向衰减速率的方法	发明专利	CN202110523699.X	CN115341271A	2022-11-15
6	一种固相掺杂硅单晶的制备方法	发明专利	CN202110523687.7	CN115341270A	2022-11-15
7	一种磷镓共掺单晶的拉制工艺	发明专利	CN202110522378.8	CN115341269A	2022-11-15
8	一种自动控制单晶硅电阻率的方法	发明专利	CN202110522365.0	CN115341268A	2022-11-15
9	一种控制掺镓单晶电阻率的掺杂方法	发明专利	CN202110522363.1	CN115341267A	2022-11-15
10	一种自动控制单晶硅电阻率的方法	发明专利	CN202110522362.7	CN115341266A	2022-11-15

共 20 页

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