商标信息4
专利信息157
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 末端执行器和用于处理工件的系统 | 发明专利 | CN202210475606.5 | CN114743854A | 2022-07-12 |
2 | 等离子体氮化掺杂方法和装置及半导体器件 | 发明专利 | CN202210535375.2 | CN114724945A | 2022-07-08 |
3 | 带有外部气体通道插入件的工件处理装置 | 发明专利 | CN202111587556.1 | CN114695056A | 2022-07-01 |
4 | 等离子体处理装置的栅组件 | 发明专利 | CN202111587544.9 | CN114695055A | 2022-07-01 |
5 | 可配置的法拉第屏蔽体及其操作方法、等离子体处理装置 | 发明专利 | CN202111574139.3 | CN114695054A | 2022-07-01 |
6 | 用于ICP源的冷却屏蔽体 | 发明专利 | CN202111571118.6 | CN114695053A | 2022-07-01 |
7 | 使用臭氧气体和氢自由基的工件加工 | 发明专利 | CN202210367378.X | CN114664656A | 2022-06-24 |
8 | 间隔物刻蚀工艺 | 发明专利 | CN202080005249.5 | CN112771650B | 2022-06-24 |
9 | 用于处理工件的方法 | 发明专利 | CN202210275845.6 | CN114649176A | 2022-06-21 |
10 | 具有均匀性控制的等离子体剥离工具 | 发明专利 | CN201880038239.4 | CN110731000B | 2022-06-03 |
软件著作权0
作品著作权0
网站备案5
序号 | 网站名 | 网址 | 备案号 | 主办单位性质 | 审核日期 |
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1 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 | www.best-semiconductor.com | 京ICP备18054629号 | 企业 | 2021-09-13 |
2 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 | www.best-semiconductor.com | 京ICP备18054629号 | 企业 | 2021-09-13 |
3 | - | www.best-semiconductor.com | 京ICP备18054629号 | 企业 | 2021-09-13 |
4 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 | www.best-semiconductor.com | 京ICP备18054629号 | 企业 | 2021-02-19 |
5 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 | www.best-semiconductor.com | 京ICP备18054629号 | 企业 | 2021-02-19 |
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