商标信息2
专利信息16
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种半导体器件的制备方法 | 发明专利 | CN202210333140.5 | CN114758978A | 2022-07-15 |
2 | 一种晶圆片和玻璃载盘的贴附方法 | 发明专利 | CN202210419534.2 | CN114695084A | 2022-07-01 |
3 | 一种具有载板的晶圆切割方法 | 发明专利 | CN202111119934.3 | CN114050125A | 2022-02-15 |
4 | 一种晶圆切割方法 | 发明专利 | CN202111125517.X | CN113948460A | 2022-01-18 |
5 | 硅基板上解键合SiC片方法 | 发明专利 | CN202111119932.4 | CN113948459A | 2022-01-18 |
6 | 一种晶圆表面器件的制备方法 | 发明专利 | CN202111161451.X | CN113948376A | 2022-01-18 |
7 | 一种晶圆制备方法 | 发明专利 | CN202111044087.9 | CN113948373A | 2022-01-18 |
8 | 一种利用二次键合硅基载板的SiC晶圆加工工艺 | 发明专利 | CN202111162144.3 | CN113903658A | 2022-01-07 |
9 | 一种碳化硅晶圆加工工艺 | 发明专利 | CN202111162163.6 | CN113903656A | 2022-01-07 |
10 | 一种钟摆式基板蚀刻装置及蚀刻工艺 | 发明专利 | CN202111159789.1 | CN113896427A | 2022-01-07 |
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