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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	坩埚组件和具有其的单晶生长装置	发明专利	CN202111448447.1	CN114134571A	2022-03-04
2	碳化硅晶体生长装置	发明专利	CN202111448965.3	CN114108096A	2022-03-01
3	单晶碳化硅制备装置	发明专利	CN202111447889.4	CN114108095A	2022-03-01
4	碳化硅晶体生长装置	发明专利	CN202111446990.8	CN114108094A	2022-03-01
5	碳化硅晶体生长装置	发明专利	CN202111442302.0	CN114108093A	2022-03-01
6	坩埚组件和具有其的单晶生长装置	发明专利	CN202111448221.1	CN114108078A	2022-03-01
7	碳化硅单晶及其生长装置和制备方法	发明专利	CN202111444945.9	CN114086247A	2022-02-25
8	籽晶托	发明专利	CN202111404931.4	CN114086246A	2022-02-25
9	碳化硅晶体生长装置	发明专利	CN202111448112.X	CN114059156A	2022-02-18
10	一种单晶炉副室智能清洁装置及其控制方法	发明专利	CN202111182404.3	CN113976559A	2022-01-28

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