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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	碳化硅化学气相沉积炉的进气装置	发明专利	CN202010560400.3	CN111560597B	2022-07-01
2	一种化学气相沉积炉尾气处理装置	实用新型	CN202021006547.X	CN214345110U	2021-10-08
3	一种化学气相沉淀的基体支撑旋转装置	实用新型	CN202021030481.8	CN213203195U	2021-05-14
4	一种钟罩式化学气相沉积炉	实用新型	CN202021338521.5	CN213203187U	2021-05-14
5	一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置	实用新型	CN202021013623.X	CN213193032U	2021-05-14
6	一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装	实用新型	CN202021346105.X	CN212776068U	2021-03-23
7	一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置	实用新型	CN202021346196.7	CN212770955U	2021-03-23
8	一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉	实用新型	CN202021030767.6	CN212770951U	2021-03-23
9	一种化学气相沉积炉进气分布装置	实用新型	CN202021357059.3	CN212770949U	2021-03-23
10	一种化学气相沉积炉的辅助进气装置	实用新型	CN202021030735.6	CN212770948U	2021-03-23

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