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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种背接触式双面电池的制备方法	发明专利	CN202210328416.0	CN114597288A	2022-06-07
2	一种用于碳化硅外延设备的反应装置	实用新型	CN202121206115.8	CN215976136U	2022-03-08
3	外延生长装置的调温方法以及外延生长装置	发明专利	CN202111113173.0	CN113846376A	2021-12-28
4	外延生长装置	发明专利	CN202110873786.8	CN113652741A	2021-11-16
5	一种用于搬运晶盒的机械手	实用新型	CN202021252740.1	CN213439671U	2021-06-15
6	一种用于晶圆多片搬动的机械手结构	实用新型	2020206260291	CN212399578U	2021-01-26
7	用于半导体外延系统的双环式基座	实用新型	CN201922423537.X	CN211455666U	2020-09-08
8	一种用于反应室的晶片传动装置	实用新型	CN201922123814.5	CN211455662U	2020-09-08
9	一种基座用轴传动装置	实用新型	CN202020047989.2	CN211320080U	2020-08-21
10	用于碳化硅外延的加热装置	实用新型	CN201921147157.1	CN210765582U	2020-06-16

软件著作权7

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	求是6寸单片式碳化硅外延炉控制系统	-	V2.0	2022SR0639971	-	2021-06-01	2022-05-25
2	求是碳化硅长晶炉控制系统软件	-	V1.0	2022SR0437870	-	2021-08-01	2022-04-07
3	求是蓝宝石晶体生长炉控制系统软件	蓝宝石晶体生长炉控制系统	V1.0	2021SR1025002	-	2021-03-20	2021-07-12
4	求是8寸立式多晶硅沉积炉控制系统软件	-	V1.0	2021SR0299160	-	2020-11-18	2021-02-25
5	求是单片式硅外延生长炉控制系统软件	-	V1.0	2020SR0071485	30200-0000	2019-03-22	2020-01-14
6	求是硅料破碎自动化生产线控制系统软件	-	V1.0	2019SR1161673	30200-0000	2019-08-31	2019-11-18
7	求是全自动单晶硅生长炉控制系统软件	-	V1.0	2019SR0759458	-	2019-03-26	2019-07-22

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