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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种干法去胶机顶针升降装置	实用新型	CN202020062537.1	CN212161784U	2020-12-15
2	一种干法去胶机驱动装置	实用新型	CN202020069389.6	CN212161771U	2020-12-15
3	一种晶圆的旋转升降传送机构	实用新型	CN202020026974.8	CN212161770U	2020-12-15
4	一种真空阀门	实用新型	CN202020026135.6	CN212155868U	2020-12-15
5	一种固定晶圆用静电吸盘	实用新型	CN202020126023.8	CN211629057U	2020-10-02
6	一种双晶圆反应腔式去胶机	实用新型	CN202020069824.5	CN211629045U	2020-10-02
7	一种法拉第屏蔽反应腔室	实用新型	CN202020120986.7	CN211629038U	2020-10-02
8	一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置	实用新型	CN202020069859.9	CN211629037U	2020-10-02
9	一种等离子体刻蚀机用匀气盘	实用新型	CN202020069857.X	CN211629036U	2020-10-02
10	一种等离子刻蚀机夹具基座	实用新型	CN202020069794.8	CN211629035U	2020-10-02

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