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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于评价硅基背封膜致密性的装置和方法	发明专利	CN201711370681.0	CN109932337B	2021-08-03
2	一种延长抛光布使用寿命的处理方法	发明专利	CN201811529111.6	CN111318964B	2021-06-22
3	一种用于检测晶圆粗加工表面清洁程度的设备及方法	发明专利	CN201711290179.9	CN109904085B	2021-06-22
4	一种用于金刚石刀具修正的装置及方法	发明专利	CN201911299144.0	CN112975597A	2021-06-18
5	一种改善硅抛光片表面粗糙度的抛光方法	发明专利	CN201911280083.3	CN112975578A	2021-06-18
6	一种12英寸硅抛光片加工的工艺方法	发明专利	CN201911280084.8	CN112967922A	2021-06-15
7	一种延长石墨坩埚使用寿命的方法	发明专利	CN201911270089.2	CN112941618A	2021-06-11
8	一种用于重掺锑直拉单晶硅的掺杂装置及掺杂方法	发明专利	CN201911264374.3	CN112941617A	2021-06-11
9	一种区熔硅单晶的收尾方法	发明专利	CN201911262992.4	CN112941615A	2021-06-11
10	一种硅电极加工的工艺方法	发明专利	CN201911254218.9	CN112928006A	2021-06-08

共 37 页

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	有研半导体国泰事业部	www.guotaisemi.com	京ICP备18028919号	企业	2021-08-09
2	有研半导体硅材料股份公司	www.gritek.com	京ICP备18028919号	企业	2021-08-09
3	有研半导体材料有限公司	www.gritek.com	京ICP备18028919号	企业	2019-08-15
4	有研半导体国泰事业部	www.guotaisemi.com	京ICP备18028919号	企业	2019-08-15
5	有研半导体材料有限公司	www.gritek.com	京ICP备18028919号	企业	2019-08-15
6	有研半导体国泰事业部	www.guotaisemi.com	京ICP备18028919号	企业	2019-08-15

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