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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	化学机械研磨方法	发明专利	CN201910015829.1	CN111421462B	2022-03-22
2	半导体器件及其形成方法	发明专利	CN201810117271.3	CN110120345B	2022-03-22
3	半导体器件及其形成方法	发明专利	CN201710897542.7	CN109585290B	2022-03-22
4	SRAM单元及其检测方法、SRAM单元的检测系统和SRAM器件	发明专利	CN201710037835.8	CN108320775B	2022-03-22
5	半导体结构及其形成方法	发明专利	CN202010912159.6	CN114203814A	2022-03-18
6	半导体结构及半导体结构的形成方法	发明专利	CN202010988486.X	CN114203698A	2022-03-18
7	半导体结构及其形成方法	发明专利	CN202010990198.8	CN114203697A	2022-03-18
8	半导体结构及半导体结构的形成方法	发明专利	CN202010988492.5	CN114203696A	2022-03-18
9	半导体结构及其形成方法	发明专利	CN202010988489.3	CN114203671A	2022-03-18
10	半导体结构及其形成方法	发明专利	CN202010980689.4	CN114203670A	2022-03-18

共 557 页

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