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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种提高<100>单晶成活率的放肩方法	发明专利	CN202210403758.4	CN114717648A	2022-07-08
2	二维调整单晶硅棒晶向的接着方法	发明专利	CN202210348230.1	CN114714526A	2022-07-08
3	直拉硅单晶的掺杂装置及方法	发明专利	CN202110829948.8	CN113549994B	2022-07-01
4	晶棒碳含量轴向分布计算方法	发明专利	CN202210305967.5	CN114637954A	2022-06-17
5	一种吹气型晶圆传片系统及操作方法	发明专利	CN202210079640.0	CN114582769A	2022-06-03
6	提高CV炉掺锑氧含量的控制系统及微控方法	发明专利	CN202210079676.9	CN114577023A	2022-06-03
7	一种降低轻掺硼晶棒体内铁含量系统及操作方法	发明专利	CN202210165196.4	CN114574975A	2022-06-03
8	一种拉晶炉P-N型转换过程中杂质元素的控制系统及方法	发明专利	CN202210079672.0	CN114574964A	2022-06-03
9	一种掺杂钟罩系统及其改变掺杂气体分子路径方法	发明专利	CN202210078575.X	CN114574945A	2022-06-03
10	稳定300mm单晶硅片掺砷元素拉晶温度的单晶炉	实用新型	CN202123383164.1	CN216639712U	2022-05-31

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